微量氧分析仪的校准一般有两种。露点仪直接测出露点温度的仪器。使一个镜面处在样品湿空气中降温，直到镜面上隐现露滴的瞬间，测出镜面平均温度，即为露点温度。露点分析仪它测湿精度高，
但需光洁度很高的镜面，精度很高的温控系统，以及灵敏度很高的露滴（冰晶）的光学探测系统。使用时必须使吸入样本空气的管道保持清洁，否则管道内的杂质将吸收或放出水分造成测量误差。
1、瓶装设计规范气校准：
不要选择零点气体和量程气体校准仪零点和量程，零点气体多选择高纯氮气，其含氧量小于0.5 ppm，(测量误差太大，可能超过，不
使用)。露点分析仪它测湿精度高，但需光洁度很高的镜面，精度很高的温控系统，以及灵敏度很高的露滴（冰晶）的光学探测系统。使用时必须使吸入样本空气的管道保持清洁，
否则管道内的杂质将吸收或放出水分造成测量误差。钢瓶内不能含有微量氧的范围气体，因为它容易产生吸附作用或氧化反应，使氧含量发生变化。*好使用内涂层处理的铝合金气缸。
现用现配较好，有用期一年为限也能够，不宜进行持久数据寄存。
我们在野外经常选择单点量程校准，效果往往比零点校准好，这是因为用的是零气不能，而不是方法不好。
现场在零点无法得到妥善保障的情况下，主张放弃零点核查。
2. 电解氧气法校正:
电解配氧法是制备氧标准气体的一种简单而常用的方法。有些分析仪有附件和装置，可以方便地校准分析仪。该方法简单可靠，性能较好高的准确度。
